燒結(jié)爐是指使粉末壓坯經(jīng)過燒結(jié)獲得所需的物理、力學(xué)性能以及微觀結(jié)構(gòu)的專用設(shè)備。燒結(jié)爐用于烘干硅片上的漿料、去除漿料中的有機(jī)成分、完結(jié)鋁背場(chǎng)及柵線燒結(jié)。

　　負(fù)壓脫脂是一邊流量計(jì)往爐內(nèi)充氣體，一邊滑閥泵抽，在升溫中運(yùn)用氣流來(lái)把粘結(jié)劑從產(chǎn)品中脫除。真空內(nèi)燒是不充氣體，滑閥泵一直抽，爐體升溫，在真空中燒結(jié)。分壓燒結(jié)時(shí)充入氣體維持一定的壓力，爐體升溫，在分壓中燒結(jié)。強(qiáng)制冷卻是快速充入氣體，風(fēng)機(jī)打開，運(yùn)用氣體在爐內(nèi)循環(huán)，經(jīng)過冷卻水把熱量帶走。

　　為了確保粉末壓坯在燒結(jié)過程中的脫蠟（潤(rùn)滑劑或成形劑）、還原、合金化、組織轉(zhuǎn)變等順利進(jìn)行，燒結(jié)時(shí)需求對(duì)燒結(jié)溫度、維護(hù)氣氛、壓坯傳送方式、加熱和冷卻速度等進(jìn)行準(zhǔn)確的控制。

　　因此，燒結(jié)爐在結(jié)構(gòu)上應(yīng)滿意以下要求：具有完善的潤(rùn)滑劑燒除設(shè)備（俗稱脫蠟帶）。具有氣密性，即能阻隔爐外空氣并確保爐內(nèi)維護(hù)氣氛暢通。爐內(nèi)的各段溫度可控，燒結(jié)氣氛可調(diào)具有快速冷卻設(shè)備，可將燒結(jié)零件快速冷卻到出爐溫度而不會(huì)氧化。